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                发力高端智能装备!瑞彩祥云2下载研制出我国首台半导体激光隐形晶圆切割机

                发布时间:2020-05-18


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                近日,瑞彩祥云2下载旗☆下中国长城郑州轨道交通信息技术研究院和河南通用智能装备↙有限公司,历时一年,联合攻关,研制成功我国首台半导体激光隐形晶圆切割机,填补国内空白。该设备在关键性能参数㊣ 上处于国际领先水平,标志着我国半导体★激光隐形晶圆切割技术取得实质性△重大突破,对进一步提高我国智能装备制造能力具有里程碑式的意义。

                高端智能装备是国之重器,是制造业的基石,尤其是半导体领域内高端智能装备,在国民〓经济发展中具有举足轻重的作用。晶圆切割是半导体封测工艺中不可或缺的关键工序,据悉,与传统的切割方式相比,激光☆切割属于非接触式加工,可以避免对晶体硅表面造成损伤,并且具有加工精度高、加工效率高等特点,可以大幅提升芯片生产制造的质量、效率、效益。

                半导体激光隐形晶圆切割机通过采用特殊材料、特殊结构设计、特殊运动平台,可以实现加工平台在高速运动时保持高稳定性、高精度,运■动速度可达 500mm/s,效率远高于国外设备。

                在光学方面,根据单晶硅的光谱特性,结合工业激光的应用水平,采用了合适的波长、总功率、脉宽和重频的激光器,最终实现了隐形切割。

                在影像方面,采用不同像素尺寸、不同感光芯片的相机,配以不同功效的镜头,实现了产品轮廓□识别及低倍、中倍和高倍的水平调整。同时还搭载了∮同轴影像系统,可以确保切割中效果的实时确认和优化,实现最佳切割效果。

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                郑州轨道交通信息技术研究院成立于2017年,近些年来,围绕自主安全工业控制器、高端装备制造和新一代信息技术突破开展科研创新、技术攻关,被中国长城旗下公司收购后,科研创新、事业发展进入新一轮加速发展期。

                中国长城在科研创新中始终聚焦自主≡安全和核心技术,该装备的成功研制是科研人员义无反顾扛起央企▲主责,加速解决“卡脖子”难题,争做新时代圆梦人的有力体现,也是央企与民企共扛使命、资源互补、集智创新,共同解决国家重大智能装备制造瓶颈问题的成功典范。